圖文詳情
3英寸基片最多可放6個(gè);
樣品臺(tái)加熱,旋轉(zhuǎn)(公轉(zhuǎn)),偏壓;
最多6支磁控濺射靶槍;
靶槍可傾斜,升降,可升級(jí)強(qiáng)磁靶頭;
獨(dú)立靶槍檔板;
可配備離子束輔助沉積;
自動(dòng)壓力控制系統(tǒng);
可小批量量產(chǎn)。
相關(guān)產(chǎn)品
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