圖文詳情
本底真空度優(yōu)于10-9 Torr;
最大3英寸基片;
基片臺功能:加熱800C,旋轉(zhuǎn),偏壓;
2寸靶槍最多可放置4支;
靶槍可傾斜,升降,可升級強磁靶頭;
可選配快速進樣室,進樣室可清洗基片;
可配備離子束輔助沉積;
可配備多路工藝氣路;
自動壓力控制系統(tǒng)。
相關(guān)產(chǎn)品
©2022 武漢嘉晨科技有限公司版權(quán)所有 | SEO標(biāo)簽
圖文詳情
本底真空度優(yōu)于10-9 Torr;
最大3英寸基片;
基片臺功能:加熱800C,旋轉(zhuǎn),偏壓;
2寸靶槍最多可放置4支;
靶槍可傾斜,升降,可升級強磁靶頭;
可選配快速進樣室,進樣室可清洗基片;
可配備離子束輔助沉積;
可配備多路工藝氣路;
自動壓力控制系統(tǒng)。
相關(guān)產(chǎn)品
©2022 武漢嘉晨科技有限公司版權(quán)所有 | SEO標(biāo)簽
