圖文詳情
不銹鋼腔體設(shè)計;
熱ALD和等離子體增強ALD;
最大12英寸基片;
基片加熱最高400C ;
最多可提供6路工藝氣路;
氣路全金屬密封。
相關(guān)產(chǎn)品
©2022 武漢嘉晨科技有限公司版權(quán)所有 | SEO標(biāo)簽
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不銹鋼腔體設(shè)計;
熱ALD和等離子體增強ALD;
最大12英寸基片;
基片加熱最高400C ;
最多可提供6路工藝氣路;
氣路全金屬密封。
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